? ? ? ?電子束輻照可以有效改善提高半導(dǎo)體芯片、電力電子器件、半導(dǎo)體晶圓的相關(guān)電學(xué)參數(shù)性能，可用于宇航元器件和核工業(yè)輻射環(huán)境儀器儀表服役性能的抗輻射試驗(yàn)研究。